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常州昱全环保科技有限公司地处江苏省常州市,地理位置优越,交通十分方便,是江苏十佳诚信企业、江苏省环境产业保护协会理事单位、省高新技术企业。  半导体制作可能排放的特殊毒性气体种类众多,像薄膜成长制程、化學气相沉積(CVD)、干蚀刻(dryetching)、扩散(diffusion)、离子植入(ionimplantation)与磊晶(epitaxy)制程等等所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H 更多详情 +